氦檢漏儀如何擺脫水蒸氣影響

近日，INFICON（英?？担┲匕醢l(fā)布了UL3000Fab和UL6000移動式氦氣檢漏儀，它們集成了三大創(chuàng)新功能：

1、第二代智能抑零I-ZERO 2.0

2、本底檢測I-Check

3、水汽抑制HYDRO-S

其中，HYDRO-S是一項研發(fā)的技術(shù)，用以擺脫水蒸氣對本底值的影響，實現(xiàn)更快、更精準的檢漏的創(chuàng)新功能！

HYDRO-S的英文全稱是HYDROgen-Suppression，中文翻譯為氫抑制。

被測試對象在抽空過程中，水蒸氣會形成不必要的本底背景，該軟件可以分離和清除來自水蒸氣的背景值，有助于使檢漏設備盡快達到低氦氣本底背景水平，從而更快開始進行泄漏測試。

為了驗證HYDRO-S的功能效果，我們做了一個對比測試，如下圖：

圖中的兩根指示線分別代表了UL3000在啟動HYDRO-S功能和未啟動HYDRO-S功能時的泄漏測試信號，兩個信號均連接到50升測試體積，并在該體積下，于4分鐘后時同時連接有3.3 E-9 mbar l/s測試漏孔。

由圖可見，HYDRO-S的優(yōu)勢顯而易見：

泄漏測試開始，被測對象抽空過程中，開啟HYDRO-S功能的UL3000在2.5分鐘后就已達到了8x10E-10的本底背景氦信號，并將此本底值保持至第4分鐘，而未開啟HYDRO-S功能的UL3000由于水蒸氣中的影響，信號曲線始終無法穩(wěn)定且達到更低的本底背景水平。

在測試第4分鐘，打開測試漏孔后，開啟HYDRO-S功能的信號曲線很快就顯示出了準確的泄漏值，并在第6分鐘漏孔關(guān)閉后，返回到了本底背景。

而未開啟HYDRO-S功能的UL3000在4分鐘后未達到10E-10范圍，打開的測試泄漏在下降的背景中消失，無法確定是否存在泄漏。

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