高真空熱離子真空計 - 無源 IE414 & IE514 傳感器

IE414和IE514是基于熱陰極電離效應的高超真空傳感器。 IE414是Bayard-Alpert量規(guī)，而IE514基于Extractor提取 器原理。這些無源真空計由IM540真空計控制器組合和 控制。通過調節(jié)陰極發(fā)射電流，IE414的測量范圍從 1×10-2毫巴到1×10-11毫巴，跨度超過9級。由于其固有 的X射線和離子解吸效應的減少，Extractor原理使IE514 達到2×10-12mbar的較低測量極限。

優(yōu)勢：

•高精度、單獨校準的傳感器

•可更換陰極 •高溫烘烤400°C IE414 Bayard-Alpert傳感原理

•測量范圍為2×10-11毫巴（1.5×10-11Torr）

•防護罩焊接到位 IE514 •Extractor吸附傳感原理

•低測量極限至2×10-12mbar（0.75×10-12Torr）

•顯著降低 X 射線和離子解吸效應

應用范圍：需要在超高真空范圍和高溫烘烤下進行精確真空測量的科學和研發(fā)應用。

運行套件：真空計控制器 IM540。