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EDWARDS復合渦輪分子泵

簡要描述:EXT255DX Edwards EXT復合渦輪分子泵適用于除zui苛刻的半導體應(yīng)用和科學應(yīng)用(這些領(lǐng)域可使用STP系列泵)以外的任何領(lǐng)域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統(tǒng)軸承相比具有更輕、更硬和更平穩(wěn)的優(yōu)點,以及壽命長、小振動的優(yōu)點。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。

  • 產(chǎn)品型號:EXT255DX
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2025-01-17
  • 訪  問  量:2322
  • 產(chǎn)品資料:

詳細介紹

品牌Edwards/愛德華產(chǎn)地進口
加工定制

EXT255DX  Edwards EXT復合渦輪分子泵

性能特點

兼容TIC渦輪儀表控制器。

多種通訊模式。

*并口,用于傳統(tǒng)控制信號接口

* 串口,用于RS-232接口。

通過RS-232接口,用戶可以設(shè)置各種參數(shù)RS-232。

* 放氣閥控制設(shè)置。

* 正常泵速顯示。

* 準備轉(zhuǎn)速顯示。

* 功耗。

* 泵溫。

增強型泵速、功耗、溫度監(jiān)測。

EXT255DX  Edwards EXT復合渦輪分子泵

技術(shù)數(shù)據(jù)

前級泵也可以使用抽速更大的旋片泵,還可使用極限真空小于5mbar的隔膜泵。

* 超出該入口壓力時,轉(zhuǎn)速為額定轉(zhuǎn)速。
   ** 此時功率160W。
   *** 沒安裝入口篩網(wǎng)。安裝篩網(wǎng)時,泵速下降約10%。
       前級泵為兩級旋片泵,并烘烤48小時。
       Pb<5 mbar(500 Pa)并烘烤48小時。

安裝尺寸


A 放氣口的手動放氣閥

B 電連接盒

C 邏輯接頭

D 前級泵接口

E 吹掃凈化口(空白)

F 插座

G 地線連接

EXT255DX渦輪分子泵特性曲線





訂貨信息


描述

貨號

EXT2555DX ISO100

B753-11-000

EXT255DX CF100

B753-12-000

EXT2555iDX ISO100 級間法蘭DN25NW

B753-13-000

TIC 渦輪控制器 200W RS232

D397-12-000

TIC 渦輪儀表控制器 200W RS232

D397-22-000












































































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